开局卖掉老爹公司科技称霸世界第551章 沈北鹏的动作和自信
一位专家瞬间认出了眼前这台光刻机的来历。
一时之间他没有注意旁边还有其他人就惊叫了出来。
说完这句话这位教授立马走向眼前这台光刻机。
而在一旁其他人也听见了这位教授的声音。
顺着声音他们就见教授二话没有说就一个人走了出去。
其他几位教授注意到了也跟着往前走去。
陈敏长官和孟旭互相看了眼然后又看了眼孙坚。
只见孙坚伸出手摆出请的手势。
三个人也跟着几位教授来到了这台光刻机前。
“孟旭刚才那位教授说的是EUV光刻机对吧?” 陈敏长官有些不确定自己听见的是否是这样的所以向孟旭询问道。
孟旭听后点点头他确定刚才教授说的是EUV光刻机。
陈敏听后倒吸了一口凉气。
要知道ASML最初的EUV光刻机是2010年推出的TWINSCAN NXE:3100。
当时该机型主要用于研发其制程可实现14纳米及以下制程。
这款光刻机数值孔径为0.25光源功率较弱最佳状态时只能输出10瓦。
后续ASML推出的EUV光刻机在制程能力等方面不断提升如NXE:3400B系列可对应7纳米制程。
如果星海科技制造出来了EUV光刻机就意味着星海科技的这台光刻机性能最差也可以做到14纳米制程。
仅仅是这个光刻机如果真的如教授说的那就意味着星海科技真的解决了他们国家卡脖子的问题了。
陈敏在一旁等待着想听听几个教授的意见。
这个时候还是不能高兴太早不然容易乐极生悲。
孙坚笑着看着眼前的一幕丝毫不在意几位教授对着眼前的光刻机进行研究。
就在这个时候首先发现EUV光刻机的那位教授说话了。
“奇了怪了这台光刻机各项功能看着就是EUV光刻机。
” “但是他的很多功能却是EUV光刻机都没有的光刻机的架构也更加巧妙。
” 这位教授说的话其他几个人都非常清楚的听见了。
就在这个时候这位教授好奇地看向孙坚:“孙总这台光刻机的制程是多少?到底是不是EUV光刻机?” 听见这位教授询问的其他人也一脸好奇地看向孙坚想要从孙坚的口中听见结论。
陈敏没想到眼前的几位教授都看不出来这台光刻机的来历。
要知道眼前这几位教授已经是国内顶尖的专家了。
他们虽然没有见过EUV光刻机但是对于EUV光刻机还是知道一些情况的。
只是他们都没有办法搞清楚眼前这台光刻机的情况现场也就只有孙坚可以解释一下这台光刻机的各项性能了。
孙坚见大家一脸期待地看向他笑着介绍道:“这台光刻机就是我们星海科技最新研发的EUV光刻机。
” “这台光刻机的制程达到了5纳米的水平已经赶上目前世界上最先进的EUV光刻机了。
” 听见孙坚的话清楚的从耳边传出众人还是有些不相信。
所以当孙坚说完这句话之后在场的众人好几分钟没有说话。
他们一直在消化孙坚话中的内容反复思考这个难以置信的信息。
而且孙坚说出来的时候没有思考和犹豫表现的非常云淡风轻。
好像在孙坚的眼中眼前的这台光刻机就像是一台非常普通、可有可无的普通机器一样。
这样一来就让他们更加难以置信了。
要知道ASML研发EUV光刻机是一个历经多年、汇聚多方力量的过程。
20世纪80年代中期EUV光刻技术研究起步。
1997年ASML聘请Jos Benschop启动EUV计划。
1998年ASML与德国蔡司和牛津仪器公司成立了“EUCLIDES”欧洲工业研发联盟共同推进EUV技术研发。
1999年ASML和EUCLIDES与阿美莉卡EUV LLC联手加速技术开发。
直到2000年Jos在SPIE上展示EUCLIDES计划的第一个结果。
2001年ASML分配少量资源构建EUV原型系统。
2006年第一批EUV原型机被运往比利时的imec和纽约奥尔巴尼的SUNY用于了解EUV技术及其在半导体制造中的应用。
2010年ASML向泡菜国三星研究机构运送了第一台TWINSCAN NXE:3100预生产EUV系统并在平安夜实现了“第一道光”。
该机器数值孔径为0.25能曝出10纳米时代需要的图案但光源功率较弱最佳状态时只能输出10瓦。
2012年英特尔、三星和台积电等主要客户同意在五年内为ASML的EUV研发贡献资金并收购公司股份。
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